Integrated MEMS Symposium held in Utsunomiya from 10th to 13th Nov. 2025.

Four students from our laboratory attended the Integrated MEMS Symposium held in Utsunomiya and presented posters.

飯間 翔太（M1）, “電解金めっき錘搭載静電容量型MEMS加速度センサの設計に向けた電解金めっき膜の微小機械特性と熱処理影響の評価”
高畑 寿志（B4）,”Ti/Auで形成した九十九折ばねにおけるTi膜のばね形状への影響に関する検討”
森 達彦（M2）, “静電容量型MEMS加速度センサに向けたTi/Au積層マイクロカンチレバーの実効ヤング率に対するアニーリングの影響評価”
奥村 雅子（M1）, “静電容量型MEMS加速度センサにおける金錘の形状による反り抑制の検討”