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第9回集積化MEMSシンポジウムで曽根教授が優秀ポスター賞を受賞　3/18,2018

応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催のシンポジウムにおいて曽根先生がグループで優秀ポスター賞を受賞しました．

第9回「集積化MEMS」シンポジウム
「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討」