群馬・桐生で開催された応用物理学会集積化MEMS技術研究会に参加しました 7/30,2026

群馬・桐生で開催された応用物理学会集積化MEMS技術研究会に学生2名と助教2名が参加しました。学生2名は以下のタイトルで口頭発表を行いました。

氏名(学年)タイトル
坂梨 航太(M2)MEMS デバイス作製に向けた微小電極によるパターン密度と電解めっき膜厚分布の関係評価
高畑 寿志(M1)高感度静電容量型 MEMS 加速度センサのための九十九折ばね解析モデルの提案

東京科学大学 総合研究院 曽根・Chang研究室
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