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仙台で開催された応用物理学会大6回集積化MEMSシンポジウムに出席しました。11/25-28、2024
仙台で開催された応用物理学会第6回集積化MEMSシンポジウムに学生2名と栗岡助教が参加しました。発表内容は以下の通りです。
| 宮井良介（M2） | 口頭発表 | 静電容量型MEMS加速度センサーのためのTi/Au 積層マイクロカンチレバーの 構造安定性に対する熱処理の影響評価 |
| 渡邊春海（M2） | ポスター発表 | 静電容量型 MEMS 加速度センサのための Ti/Au 多層カンチレバーの実効ヤング率に対する測定電圧依存性に関する研究 |
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