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第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムに参加しました 10/24-26,2016
長崎・平戸で開催された第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにて当研究室のメンバーがポスター発表を行いました.内容は以下の通りです.
浅野 啓介, “微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価”
柳田佐理, “微小引張試験片を用いたMEMS用金めっき材料の機械的特性の評価”
葭葉将治, “高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価”
寺西美波, “電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価”
浅野 啓介, “微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価”
柳田佐理, “微小引張試験片を用いたMEMS用金めっき材料の機械的特性の評価”
寺西美波, “電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価”
葭葉将治, “高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価”