トップ > 最先端次世代研究開発支援プログラムの成果をまとめた本が発行 9/28-2012
最先端次世代研究開発支援プログラムの成果をまとめた教科書(共著)が9月28日に市販されました。
コロナ社
「半導体・MEMSのための超臨界流体」(A5判、3570円)
著者一覧
山梨大教授 博士(工学) 近藤英一 編著
芝浦工大教授 工博 上野和良 著
上智大准教授 博士(工学) 内田寛 著
東工大准教授 博士(工学) 曽根正人 著
NTTアドバンステクノロジ(株) 博士(工学) 生津英夫 著
Hattori Consulting International 工博 服部毅 著
福井大教授 Ph.D. 堀照夫 著
オムロン(株) 森口誠 著