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超臨界ナノプレーティング装置 SNP-Ⅳが完成しました 3/30-2012
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超臨界ナノプレーティング装置 SNP-Ⅳが完成しました。
この装置は、超臨界二酸化炭素とめっき液のエマルションを用いて
ナノメートルオーダーの半導体配線を行うための装置です。
反応媒体の輸送特性をin-situ測定すると同時に、分散状態が目視可能に
設計してあります。また、多重の安全装置が準備されています。
更に、第一種高圧ガス製造装置として神奈川県に製造許可および
完成検査を受けております。（神奈川県指令工保第７０００４号）
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